MODEL 5822i 

5822i 離子風機的精巧設計是配合自動化制程設備內緊密的空間條件，和嚴格的靜電防控要 求，尤其適用于硬盤制造和半導體后段封測工業。它能維持 <±3V 的離子平衡，又可接連外置回饋 系統以達至 <±1V 的 效能。內置的離子平衡自動修正系統，能確保目標對象在精準控制中，減少維 修次數和降低操作成本。選配的氣流定向器，無須更多的空間，也能把精準平衡的離子直接吹到目 標。

特點

·±3V 或更好的離子平衡(配合選配的外接回饋系統能達至 ±1V)

·設備監控接口和聲響報警

·外置控制盒

·符合潔凈度 IS0 14644-1 Class 4(Fed. Std. 209E)

優點

提供的電暈放電基礎 ESD 的關鍵環境保護。

透過設備或接口的通知，對產品失誤能作出快速反應

容許更彈性的安裝位置，又能維持效能

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適合在高要求的微污染控制環境使用