SIMCO思美高離子棒電離系統(tǒng)離子發(fā)生器

產品簡介
SIMCO思美高離子棒電離系統(tǒng)離子發(fā)生器，AeroBar® 5225 電離系統(tǒng)，潔凈室兼容高離子輸出以實現(xiàn)快速中性化

產品型號：5225

更新時間：2026-02-27

廠商性質：經銷商

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SIMCO思美高離子棒電離系統(tǒng)離子發(fā)生器

Simco-Ion, Technology Group的 Model 5225數(shù)字氣動桿，帶有軟件控制，旨在滿足工具內離子化的苛刻要求。通過高離子輸出快速中和晶圓上的電荷，可在水平上實現(xiàn)E78合規(guī)性。

接口模塊型號 5200-IM6T

支持并供電至6個AeroBar Model 5225離子發(fā)生器，F(xiàn)MS輸出。

SIMCO思美高離子棒電離系統(tǒng)離子發(fā)生器

AeroBar 5225
電壓	輸入：24伏交流電，50/60赫茲，1瓦（典型）；由接口模塊型號5200-IM6T供電輸出：0-20千伏直流電，每個極性在單獨的AeroBar上可±10%；正或負輸出電平可以通過GUI分別調整
離子發(fā)射	脈沖直流電、穩(wěn)態(tài)直流電或備用
發(fā)射器	單晶硅，可更換
潔凈室等級	ISO 14644-1 Class 1（單晶硅發(fā)射極） ISO 14644-1 Class 3（鈦發(fā)射極）
維度	2.1英寸高 x 1.2英寸寬 x 22.4 / 28.4 / 35.7 / 44.4 / 55.6 / 64.4 / 75.5 / 84.4英寸長 (5.3 x 3.1 x 56.9 / 72.1 / 90.7 / 112.8 / 141.2, 163.6 / 191.8 / 214.4 厘米)
重量	1.13 磅（0.51 公斤）用于 22 英寸（55.9 厘米）的桿（每增加 1 英尺/0.17 公斤每增加 30.5 厘米）
接口模塊型號 5200-IM6T
輸入電壓	24 伏直流電，1.0安，±5%
容量	連接最多六個Model 5225航空桿
LED 指示燈	綠色電源開啟，黃色通信，紅色報警
維度	2.76英寸高 x 2.88英寸寬 x 12.4英寸長（7.01 x 7.32 x 31.5厘米）帶法蘭
重量	2.6 磅（1.18 公斤）